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SCHEIBENVEREINZELUNG

In Zusammenarbeit mit der Fa. CRP haben wir eine Scheibenvereinzelungsanlage mit Reinigung für 300mm Wafer entwickelt.

 

 

Details

  • Vereinzelung und Aufnahme von Silicium-Scheiben mit einem Greifer aus einem Transportwagen
  • Vermessung der Scheiben
  • Reinigung der Scheiben in verschiedenen Arbeitsschritten
  • Sortierung und Einhordung in Transportträger
  • Lagerung in einem Paternosterlager
  • Ein-/Auslagerung nach Losvorgaben

 

Seit 2004 haben wir 8 Anlagen realisiert.