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NASSBANK

Eine nass chemische Badanlage oder Naßbank ist eine vollautomatisierte Batch-Anlage zum Reinigen oder Oberflächenätzen von Siliziumwafer in der Halbleiter- oder Solarindustrie.

 

 

Details

  • Ausstattung: Be- und Entladeeinheit, verschiedene Bäder mit Reinigungs-, Ätz- oder Spülflüssigkeiten und gegebenfalls eine oder mehrere Trocknungseinheiten
  • Pro Bad ein autarker Prozess
  • Bis zu 4 Transporthandlingsysteme mit jeweils bis zu 4 z.T. interpolierenden Achsen holen die Wafertransportbehälter ab und bestücken damit die Bäder in einer programmierbaren Sequenz.